アルゴンミリングは、イオンをビーム状にして試料に照射してエッチングを行う装置です。
非常に太いビームを発生して均一に試料をエッチング出来ることが、この装置の特徴です。
超高真空蒸着装置で作製した薄膜や、電子ビーム露光装置でパターニングした試料をこの装置で加工することにより、微細構造を持った試料を作成することが出来ます。