電子ビーム露光装置を使うことにより、レジストを塗布した試料に電子ビームで描画するとにより、ナノメータースケールのパターニングが出来ます。
我々のグループでは、この電子ビーム露光装置とアルゴンミリングや超高真空蒸着装置を組み合わせて微細な構造をもつ試料を作成しています。

電子線描画装置全体(ELIONIX製)

電子ビーム露光装置(JEOL製・本体部のみ)