原子間力顕微鏡は、針状の探針を試料表面で走査しながら、探針に働く力を針のたわみとして検出する装置です。これにより、基板表面の凹凸を原子層レベルで観察することができます。また、磁性体でコーティングされた探針を用いると、試料表面の形状に加え、磁束分布も測定することが可能です。

原子間力顕微鏡 (セイコーインスツルメンツ社製) 主に基板表面の凹凸を観察するために用いています。

原子間力顕微鏡 (Digital Instruments社製) 主に、磁気像を観察するために用いています