走査型電子顕微鏡は、試料に加速した電子束を照射して、試料から放出される二次電子やX線を分析することにより作製した試料の表面観察や、組成分析ができます。

エネルギー分散型X線分析装置を備えているため、元素組成分析(EDS)が可能です。

走査型電子顕微鏡(日本電子製)